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何謂 mems 製程
2019年1月3日—MEMS(MicroElectroMechanicalSystem),中文為微電子機械系統;MEMS是利用半導體製程技術,整合電子及機械功能製作而成的微型裝置,在裝置上既擁有 ...,隨著MEMS技術在消費電子應用的快速崛起,及半導體製造接近極限,透過TSV技術整合MEMS與CMOS製程,...
異軍突起的MEMS運動感測器
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Thelma是一種表面微加工製程,可用來實現靈敏度高、感測範圍廣的加速度計及陀螺儀等元件。其流程包括六個主要步驟:基底熱氧化、水平互連的沈積與表面圖樣化(patterning) ...
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